ELEMENT 2 / XR HR-ICP-MS


반도체, 초순수, 환경, 지질 시료 중의 무기 원소를 ppt 이하의 농도까지 정확하게 정성 및 정량 분석하는 Magnetic Sector 방식의 질량 분석 장비이다. 고분해능 질량 분석기이면서 Autotune 및 Autocalibration 등의 기능으로 장비의 사용과 유지 관리가 용이하다.
ICP-MS의 간섭 물질 및 동위 원소 등을 완벽하게 구별하여 분석할 수 있어 분석 물질 각각에 대한 난해한 전처리 및 Collision 조작 과정 없이도 정확한 분석 결과를 얻을 수 있다.

● 응용 분야 : 반도체, 초순수, 환경, 지질
● 감도 : 1 x 109 cps /ppm (In) 이상
● 분해능 : 10,000 (10 % valley) 이상