ELEMENT GD Glow Discharge MS


반도체, 합금, 태양광 고체 시료 중의 무기 원소를 ppt ~ ppb 이하의 농도까지 정확하게 정성 및 정량 분석하는 자동화 분석 장비이다. 높은 Ar gas flow를 이용할 수 있는 Grimm type GD Source 및 Digital detector의 탑재로, 1시간에 5개 이상의 시료를 분석할 수 있는 유일한 고분해능 GD/MS (Glow Discharge Mass Spectrometer)이다. 특히, 혼합시료 분석 시에 Si 및 Ar 등의 화합물에 의한 간섭 현상을 완전히 제거하여 Boron, Phosphorous, Halogen족 원소를 비롯한 거의 모든 무기 원소의 함유량 및 동위 원소의 직접 분석이 가능하다.

● 응용 분야 : 반도체, 합금, 태양광